招股說明書顯示,中巨芯此次沖刺科創(chuàng)板上市計劃募資15億元,其中12億元用于中巨芯潛江年產19.6萬噸超純電子化學品項目。
據悉,超純電子化學品項目擬投入13.8億元,主要建設內容包括8萬噸/年電子級硫酸、3萬噸電子級氫氟酸、3萬噸電子級硝酸、2.5萬噸電子級氨水、2萬噸電子級雙氧水、1萬噸電子級異丙醇、0.1萬噸電子級混酸,目前該項目仍在建設當中。
天眼查信息顯示,中巨芯成立于2017年12月,由巨化股份和國家集成電路產業(yè)投資基金為主投資設立,主要從事電子濕化學品、電子特種氣體和前驅體材料的研發(fā)、生產和銷售。其中,電子濕化學品包括電子級氫氟酸、電子級硝酸、電子級硫酸、電子級鹽酸、電子級氨水、緩沖氧化物刻蝕液、硅刻蝕液等;電子特種氣體包括高純氯氣、高純氯化氫、高純六氟化鎢、高純六氟二丁烯、高純氟化氫、高純三氟甲烷、高純八氟環(huán)丁烷、高純八氟環(huán)戊烯等。
電子級氫氟酸領域:中巨芯是國內少數能夠穩(wěn)定批量供應12英寸1Xnm(10-20nm)制程的集成電路制造用電子級氫氟酸的企業(yè),其電子級氫氟酸產品被浙江省經濟和信息化廳認定達到“技術水平國際先進且打破國際壟斷”;中巨芯電子級氫氟酸已達到G5級,截至2022年上半年擁有約54500噸/年的產能。此外,中巨芯旗下浙江凱圣氟化學有限公司3萬噸/年ppt電子級氫氟酸擴建裝置已于2022年年中順利投料試車,產品級別可達G5級別。
含氟電子特氣領域:中巨芯目前可以實現4N5純度六氟丁二烯、5N5純度高純六氟化鎢以及5N純度高純氟化氫的量產,并正進行6N純度高純六氟化鎢的研發(fā);中巨芯已實現實現5N純度三氟甲烷、5N純度八氟環(huán)丁烷、4N純度八氟環(huán)戊烯的生產并進入客戶端認證環(huán)節(jié)。
中巨芯業(yè)務發(fā)展歷程如下: