電子級(jí)磷酸及其專用型電子化學(xué)品作為芯片制造過程中的重要化學(xué)品，其生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)和裝備長期被國外壟斷。湖北興發(fā)化工集團(tuán)股份有限公司和武漢工程大學(xué)組成的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)，以工業(yè)黃磷為原料，開展了黃磷逐級(jí)凈化、電子級(jí)磷酸防腐控制等關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)，實(shí)現(xiàn)了高純黃磷和電子級(jí)磷酸的國產(chǎn)化，也因此獲得科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。

該項(xiàng)技術(shù)成果發(fā)明了工業(yè)黃磷逐級(jí)純化技術(shù)，首次將活性炭吸附、硝酸氧化和連續(xù)減壓精餾技術(shù)集成應(yīng)用于工業(yè)黃磷純化，制備出電子級(jí)磷酸專用黃磷，純度超過99.9999%，砷含量≤10μg/kg，銻含量≤5μg/kg。

該技術(shù)成果還創(chuàng)新了電子級(jí)磷酸組合反應(yīng)關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)出動(dòng)態(tài)磷酸酐膜防腐和多級(jí)噴淋冷卻—水合吸收組合反應(yīng)技術(shù)，有效控制黃磷燃燒以及高溫五氧化二磷水合過程中設(shè)備腐蝕帶來的金屬離子污染，使電子級(jí)磷酸中金屬離子及砷含量≤10μg/kg。

此外，該技術(shù)成果突破了電子級(jí)磷酸在專用型電子化學(xué)品中的應(yīng)用技術(shù)，開發(fā)了高選擇性蝕刻液、金屬蝕刻液等專用型產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了國內(nèi)磷酸基專用型電子化學(xué)品零的突破。

項(xiàng)目成果經(jīng)鑒定整體達(dá)到國際先進(jìn)水平，其中對(duì)產(chǎn)品中砷、銻等雜質(zhì)的控制居于國際領(lǐng)先水平。采用該技術(shù)成果建成了年產(chǎn)1萬噸高純黃磷、3萬噸電子級(jí)磷酸和5萬噸專用型電子化學(xué)品生產(chǎn)線;電子級(jí)磷酸國產(chǎn)化率達(dá)到45%，其中在中芯國際使用比例達(dá)到60%以上，在華虹宏力使用比例達(dá)到90%以上，有力推動(dòng)了芯片國產(chǎn)化進(jìn)程。

（中國化工報(bào)）